FPD STAGE 4

• 작업 영역 : 4 ~ 7.5 세대
• 가이드 : LM 가이드
• 적용 모터: 코어리스 타입 리니어 모터
• 컨트롤러 : ACS, U-mac, 기타 제어기
• 주요 특징들
  • - 탁월한 속도 안정성 : 스캔 동작
  • - 고 강성 및 안정된 시스템
  • - 높은 수준의 메커니즘 및 제어 성능 보장
  • - 효율적인 공간 활용
  • - 미세 진동을 위한 방진 설계