FPD STAGE
FPD STAGE 3
- 작업 영역 : 4 ~ 7.5 세대
- 가이드 : LM 가이드
- 적용 모터: 코어리스 타입 리니어 모터
- 컨트롤러 : ACS, U-mac, 기타 제어기
-
주요 특징들
- - 탁월한 속도 안정성 : 스캔 동작
- - 고 강성 및 안정된 시스템
- - 높은 수준의 메커니즘 및 제어 성능 보장
- - 효율적인 공간 활용
- - 미세 진동을 위한 방진 설계
FPD STAGE 3 사양
| 스팩 | X0, X1 : Gantry axis | Y : Cross axis |
|---|---|---|
| 스트로크 | 2,600㎜ | 2,500㎜ |
| 최대속도 | 1200㎜/s | 1200㎜/s |
| 최대가속도 | >0.5G | >0.5G |
| 평탄도 | ± 5㎛/FS | ± 10㎛/FS |
| 진직도 | ± 6.2㎛/FS | ± 7.5㎛/FS |
| 편주 | ± 2.1acr-sec | ± 11.1acr-sec |
| 피치 | ± 3.7acr-sec | ± 6.7acr-sec |