FPD STAGE
FPD STAGE 2
- 작업 영역 : 6 ~ 8 세대
- 가이드 : LM 가이드
- 적용 모터: 코어 형 리니어 모터
- 컨트롤러 : ACS, U-mac, 기타 제어기
-
주요 특징들
- - 탁월한 속도 안정성 보장 : P to P
- - 고 강성 및 안정된 시스템
- - 높은 수준의 메커니즘 및 제어 성능 보장
- - 효율적인 공간 활용
- - 미세 진동을 위한 방진 설계
FPD STAGE 2 사양
| 스팩 | X0, X1 : Gantry axis | Y : Cross axis |
|---|---|---|
| 스트로크 | 2,640㎜ | 2,480㎜ |
| 속도 | 400㎜/s | 500㎜/s |
| 가속력 | >0.2G | >0.4G |
| 정확성 | ± 0.1㎛/FS | ± 0.1㎛/FS |
| 반복성 | ± 0.6㎛ | ± 0.6㎛ |
| 평탄도 | ± 10.2㎛/FS | ± 8.2㎛/FS |
| 진직도 | ± 5.5㎛/FS | ± 7.0㎛/FS |
| 편주 | ± 5acr-sec | ± 5acr-sec |
| 피치 | ± 5acr-sec | ± 5acr-sec |
| 포지션 안정성 | <± 0.1㎛ | <± 0.1㎛ |