FPD STAGE
FPD STAGE 1
- 작동 범위 : 모듈 46 "~ 57"(이중 척 스테이지)
- 가이드 : LM 가이드
- 적용 모터 : 코어리스 타입 리니어 모터
- 컨트롤러 : ACS, U-mac, 기타 제어기
-
주요 특징들
- - 탁월한 속도 안정성 : 스캔 동작
- - 고 강성 및 안정된 시스템
- - 고도의 메커니즘 및 제어 보장
- - 효율적인 공간 활용
- - 미세 진동을 위한 방진 설계
FPD STAGE 1 사양
| 스팩 | X0, X1 : Gantry axis | Y : Cross axis |
|---|---|---|
| 스트로크 | 1,1200㎜ | 1,441㎜ |
| 속도 | 800㎜/s | 800㎜/s |
| 가속력 | >0.2G | >0.2G |
| 정확성 | ± 0.3㎛/FS | ± 0.9㎛/FS |
| 반복성 | ± 0.2㎛ | ± 0.4㎛ |
| 평탄도 | ± 1.5㎛/FS | ± 2.6㎛/FS |
| 진직도 | ± 2.4㎛/FS | ± 2.4㎛/FS |
| 편주 | ± 1.3acr-sec | ± 2.6acr-sec |
| 피치 | ± 2.7acr-sec | ± 5.6acr-sec |
| 포지션 안정성 | <± 0.1㎛ | <± 0.1㎛ |