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초정밀 에어 베어링 Stage

초정밀 에어 베어링 Stage

초정밀 에어 베어링 Stage 사진1

Specifications

AXIS, Futures, Unite, Measuring Specifications 구성된 표
AXIS Futures Unite Measuring Specifications
Top
Ari-Bearing 		Effective stroke ㎜ 580
Maximum speed ㎜ 580
ACCelation ㎨ 5
Straightness ㎛ ±0.54(450㎜)
Flatness ㎛ ±0.54(450㎜)
Positioning accuracy ㎛ 0.37(550㎜)
BI-directional repeatability ㎛ ±0.15(550㎜)
Pitch error arcsec 4.27(540㎜)
Yaw error arcsec 0.47(550㎜)
Bottom
LM-GUIDE 		Effective stroke ㎜ 470
Maximum speed ㎜/sec 600
ACCelation ㎨ 5
Straightness ㎛ ±0.97(450㎜)
Flatness ㎛ ±0.80(450㎜)
Positioning accuracy ㎛ 0.53(450㎜)
BI-directional repeatability ㎛ ±0.47(450㎜)
In-position stability ㎛
arcsec ㎛ 8.25(450㎜), 4.87(340㎜)
Yaw arror arcsec 2.87(450㎜)
XY Orthogonality arcsec 2.739

디스플레이 / 반도체 공정용 정밀 이송 스테이지

이송 스테이지 베어링 타입: 공기 베어링

Laser 응용 분야: 강화유리 / 플렉시블 기판 Cutting

· Laser 장비 구성: Cutting Head + Scanner System

초정밀 에어 베어링 Stages 장점

  • 성능 저하 없는 장시간 구동 가능
  • 진공 예압 다공질 공기베어링 사용으로 스테이지의 이송 진직도 및 pitch error 최소화
  • 정밀 레이저 측정으로 Yaw Error 및 이송 진직도 보정
  • 높은 부하 용량 / 높은 동강성
  • 초정밀 정밀도 및 반복도Ultra-precision Accuracy and Repeatability
  • 응용분야 : 반도체, FPD 레이저 제조 공정, 검사 장비, 마이크로 머신닝

초정밀 에어 베어링 Stages 타입

SiC 세라믹 기반 스테이지

베어링 / 스케일 / 제진대 타입

  • 베어링: 진공 예압형 Air Bearing System
  • 스케일: Laser Scale
  • 제진대: 능동형 제진대

초정밀 에어 베어링 Stages 특징

  • SiC 세라믹에 기초한 Stage
  • 진공과 에어 베어링 시스템의 결합
  • 레이저 스케일 적용
구성된 표
Net travel range > step axis : 500㎜
> step axis : 400㎜
Max continuous velocity(rate payload) 400㎜/s
Max acceleration(rate payload) 1.0G
Straighness & Flatness, Scan axis ± 0.1㎛ @ 10㎜
± 0.5㎛ @ 310㎜
Position accuracy ± 0.5㎛ @ 310㎜
BI-directional repeatability(long) ± 0.1㎛ @ 310㎜
Pich, Roll & Yaw 2 arc-sec
Orthogonality 1 arc-sec
Rated payload > 15kg, scan axis
First natural frequency > 310Hz
In-position stability(on-air) <± 40㎜
Move profile information Step move of 4.5㎜
Time to make 4.5㎜ step = 0.11sec
Scan at constant velocity over 300㎜