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초정밀 에어 베어링 Stage

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Inspection M/C

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에어 플로팅 시스템

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Vacuum Chuck

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세라믹 관련 소재 부품기술

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  • · Orifice Type Air Bearing 설계 및 제작기술
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  • · Vacuum Chuck 설계 및 제작기술

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  • · Nano급 Air Bearing Stage 설계/제작기술
  • · Single Plane 초정밀 Air Bearing Stage
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