Vacuum chuck
㈜트리엔은 다공질 세라믹 원료 배합 및 제조 / 응용 역량을 보유하고 있습니다.
- 저항제어 다공질 세라믹 제조기술
- 저항제어 다공질 세라믹 진공척 제조기술
- 세라믹을 이용한 부품화 기술
-
대전방지 다공질 세라믹(Anti-static Porous Ceramic) 특허 등록번호 10-1692219
- 기공크기(1~20µm)와 기공율(10~48%)을 조절하여 디스플레이/반도체 공정에 사용되는 Air Bearing
- Ceramic Air Bearing and Ceramic Chuck
- 균질한 기공분포로 인해 고정밀 부상과 흡착이 가능
- 정밀부상시 기판의 흔들림은 5µm 미만임
- 고온 소결체로 Particle issue 없음
FPD공정 대전방지 세라믹 진공척 적용 예
반도체 장비용 세라믹 Chuck 적용 예
